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碱抛光辅助添加剂

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碱抛光辅助添加剂

主要成分:表面活性剂、反应催化剂、PSG保护剂
主要作用:
消除表面无机物、残留生成物 提高硅片表面的浸润能力
加速OH-与硅片结合能力 快速降低溶液表面/硅片的界面能
增加碱对硅和二氧化硅的腐蚀选择比

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